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国产半导体参数分析仪特点

30μV-1200V，1pA-100A 宽量程测试能力

测量精度高，全量程下可达0.03%

内置标准器件测试程序，直接调用测试简便

自动实时参数提取、 数据绘图、分析函数

在CV和IV测量之间快速切换而无需重新布线

供灵活的夹具定制方案，兼容性强

免费提供上位机软件及SCPI指令集

应用场景及测试参数

1纳米材料：电阻率、载流子迁移率、载流子浓度、霍尔电压

2柔性材料：拉伸/扭转/弯折、V-t、I-t、R-t、电阻率、灵敏度

3IC芯片：O/S、IIH/IIL、VOH/VOL、I/O Pin IV曲线

4分立器件：BVDSS/IGSS/IDSS/Vgs(th)/Rdson、Ciss/Coss/Crss、输出/转移/CV曲线等

5光电探测器：暗电流ID、结电容Ct、反向击穿电压VBR、响应度R

6钙钛矿电池：VOC、ISC、Pmax、Vmax、Imax、FF、η、Rs、Rsh

7LD/LED/OLED：Iop、Popt、VF、Ith、VR、IR、LIV/IVL曲线

8传感器/忆阻器：V-t、I-t、R-t、直流/脉冲/交流IV测试

特色优势

1模块化配置：可灵活配置多种测量单元，预留升级空间，方便后期升级

2图形化界面：内置常用器件模板，可直接调用，并且支持输出三种模式测试报告

3自动化测试：内嵌低漏电矩阵开关，可自动切换测试电路，实现一键测试功能

4夹具可定制：支持二极管、三极管、Si及SiC MOS管、IGBT等器件

5多设备联动：可与探针台、温控模块等搭配使用，温控范围：室温~250℃

加快半导体材料、芯片器件设计以及先进工艺的开发验证

1、支持直流、脉冲I-V测试

2、内置专业矩阵开关，提高测试效率

3、可与多种设备联动使用：晶圆级芯片性能测试需要与探针台联动，可靠性评估会涉及常温以及高低温等条件

4、三同轴线缆提升小电流测试精度

图形化软件界面

配合普赛斯自主开发的专业测试软件，SPA6100可轻松实现半导体材料，器件的参数测试。系统内置常用器件模板，如二极管， 三极管，MOSFET。测试过程中，可直接调用，只需简单设置测试参数即可。软件支持测试数据显示，以及曲线绘制。测试完毕后，可将数据以及曲线导出保存。

灵活可定制化的夹具方案

针对市面上不同封装类型的半导体器件产品，普赛斯提供整套夹具解决方案。夹具具有低阻抗、安装简单、种类丰富等特点，可 用于二极管、三极管、场效应晶体管、IGBT、SiC MOS、GaN等单管，模组类产品的测试；也可与探针台连接，实现晶圆级芯片测试。

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武汉普赛斯仪表有限公司陶女士

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